二次離(lí)子(zǐ)質譜(SIMS)和(hé)濺射中∑×性粒子(zǐ)質譜(SNMS)是(shì)表面分(fēn)析科(k₽$¶ē)學和(hé)材料科(kē)學中廣泛應用(yòng)的(de)分(fēn)析& σ技(jì)術(shù)。使用(yòng)離(★×αlí)子(zǐ)濺射固體(tǐ)表面能(néng)夠引起光(guāng)≈δ≤ 子(zǐ)、電(diàn)子(zǐ)、中性粒子(z'♣ǐ)和(hé)二次離(lí)子(zǐ)的(de)發射。SIMS技(jì)術(¥♣¶∏shù)探測濺射産生(shēng)二次離(lí)子(zǐ)Ωγ₽ ，SNMS技(jì)術(shù)探測濺射産生(shēng)中性"★δ•粒子(zǐ)。由于二次離(lí)子(zǐ)的(de)産率和(hé)基÷&©✔體(tǐ)相(xiàng)關，SIMS技(jì)"‌"術(shù)具有(yǒu)顯著的(de)基體(t∑€£ǐ)效應，需要(yào)标準樣品進行(xíng)分§>(fēn)析校(xiào)正。中性粒子(z↔×ǐ)是(shì)濺射産物(wù)的(de‍↑‌←)主要(yào)組成部分(fēn)，SNMS将中性粒子(zǐ)後離(≠'¥lí)子(zǐ)化(huà)進行(xíng)質✘γ≠譜分(fēn)析，定量更加可(kě)靠。IMS1280型SIMS通(≤¶φtōng)常使用(yòng)O2-分(fēn)析金(jīn)屬元素Ω✔ ，使用(yòng)Cs+分(fēn)析非金(jīn)屬元素，很(δα™≈hěn)難同時(shí)對(duì)金(jīn)♥₹屬元素和(hé)非金(jīn)屬元素進行(xíng)分(fēn£÷∏)析。

　　中國(guó)科(kē)學院地(dì)質與地(dì)球物(wù •)理(lǐ)研究所工(gōng)程師(shī)唐國(guó)強等人(rén±↓€)在以上(shàng)背景下(xià)，發明(míng)了(l≤→₹£e)一(yī)種使用(yòng)二次離(lí)子(zǐ)'♣σΩ質譜儀同時(shí)分(fēn)析非金(jīn)屬元素和(hé)金(jφ☆≠☆īn)屬元素的(de)系統和(hé)方法，并于近(j™§"∏ìn)日(rì)獲得(de)國(guó)家(jiā)發明>→α€(míng)專利授權(發明(míng)名稱：使用(©₹∑yòng)二次離(lí)子(zǐ)質譜儀同時(shí)分(fēn)析非₩←<§金(jīn)屬元素和(hé)金(jīn)屬元素的(de)系統和(hé)方≤ε法;發明(míng)人(rén)：唐國(guó)強，趙洪;專利¥₹ ₩号：ZL 2013 1 0654614.7)。

　　該發明(míng)使用(yòng)S ₽↓☆IMS分(fēn)析二次離(lí)子(zǐ)，用€σ"(yòng)SNMS對(duì)中性粒子(zǐ)分(fēn)析，可(k£δ₩₩ě)以在線獲得(de)樣品中更多(duō)'€的(de)信息，保留了(le)微(wēi)區(qū)‌Ω∞π分(fēn)析的(de)特點，沒有(yǒu)基體(tǐ)效應。其特點有(↕ yǒu)：分(fēn)隔的(de)真空(kōng)腔體(tφ£¥•ǐ)有(yǒu)利于濺射中性粒子(zǐ)的(λ de)收集和(hé)離(lí)子(zǐ)化(h€ε≥φuà);中性粒子(zǐ)的(de)離(lí)子(zǐ)≤♣€>化(huà)可(kě)以使用(yòng)電(diànε♦)子(zǐ)轟擊、熱(rè)電(diàn)離(lí)、激光(guāng)共振®™₹等成熟的(de)離(lí)子(zǐ)化(huà)技(j∏←πì)術(shù);質量分(fēn)析器(qì)可(kě)以使用(yòng₽ )小(xiǎo)型的(de)四極杆或者飛(fēi₽✘¶→)行(xíng)時(shí)間(jiān)質量分(fēn$α₽)析器(qì)，基于電(diàn)場(chǎng)的(de)獨立小(xiǎo)γ✘±型質量分(fēn)析器(qì)有(yǒu)利于減小(xiǎo)儀∏£​∏器(qì)體(tǐ)積和(hé)縮短(dπε'γuǎn)分(fēn)析時(shí)間(jiān<₹₽‌)。

　　該發明(míng)将SIMS和(hé)SNMS兩種₽♣¶技(jì)術(shù)結合起來(lái)應用(yòng)在IM ₽βS1280型SIMS上(shàng)，能(néng)夠✘↕••同時(shí)分(fēn)析樣品中的(de"♣↔)金(jīn)屬元素和(hé)非金(jīn)屬元素，具有(yǒu)很(hěn©₹≥α)大(dà)的(de)進步意義。

　　圖1：2.一(yī)次離(lí)子(zǐ);7.樣品;8.<∏ >真空(kōng)腔;9.二次離(lí)子(zǐ);21.中 ε₽π性粒子(zǐ);22.中性粒子(zǐ);23.泵;24.小(xiǎo)型質∏♣₽量分(fēn)析器(qì);25.離(lí)子(zǐ);26.真空(kōn"♦g)腔;27.接口;28.接口;29.接口。